洁净车间配套设备

无锡洁净车间配套设备加工厂，对外承接各种洁净室晶圆运输车定制加工，源头自主加工厂家，可以提供定制推车解决方案，以满足客户图纸或要求。我们的内部工程团队使用 Solidworks CAD 软件创建提案图纸，供客户在制造前审查，为半导体制造商提供需要独特的解决方案来在整个制造设施内放置和运输晶圆产品

加工流程：

1. 设计和材料选择

功能设计：晶圆运输车的设计需满足洁净室的环境要求，确保能够在不同生产阶段之间顺畅转运晶圆，且车体不会对晶圆产生损害。

材料选择：材料通常选择具有耐腐蚀、抗静电以及不易积尘的材质，如不锈钢、铝合金或抗静电塑料等。车体表面常经过特殊处理，以减少颗粒物的产生。

结构设计：晶圆运输车的结构设计要简洁，通常为开放式或封闭式，便于操作人员放置和取出晶圆。车体要配有抗静电功能，且轮子、支架、支撑结构需要符合洁净室的设计标准。

2. 零部件加工

车架制作：根据设计图纸，通过焊接、铣削、激光切割等工艺制作车架，确保车架坚固且耐用。

轮子和支架：轮子通常采用耐磨、抗静电的材料制造。支架部分需要确保晶圆能够稳固放置，并防止滑动或倾斜。

表面处理：所有金属部件都会进行抛光、喷涂或涂层处理，减少颗粒物生成，并增加其抗腐蚀性。

防静电处理：根据洁净室要求，所有零部件需采用防静电处理，如使用导电塑料、导电涂层等，避免静电对晶圆的影响。

3. 组装

车体装配：将各个部件按照设计要求进行组装，确保各个连接部位牢固，并且能够平稳移动。

轮子安装：轮子安装时需确保其转动顺畅，且能够承载一定的重量，确保运输车在洁净室内的流动性。

测试：组装完成后，对运输车进行初步测试，检查轮子、支架、车架等是否能正常工作，且不会产生过多的颗粒。

4. 清洗和去污染

清洁：由于洁净室要求极高的洁净度，运输车在出厂前需要进行彻底清洗。清洗过程中，采用专用的洁净液体进行去污，确保没有残留的油污、灰尘或其他污染物。

去静电处理：进行静电释放处理，确保运输车表面无静电积聚，避免静电对晶圆造成损害。

空气净化：在洁净环境中进行清洁和检验，确保产品达到要求的洁净等级。

5. 检验和质控

尺寸检验：检验运输车各部件的尺寸和规格是否符合设计要求，确保其适用于特定型号的晶圆。

强度测试：进行载重测试，确保运输车能够承受运输过程中可能出现的各种负载情况。

功能性测试：进行全功能测试，验证运输车是否能在洁净室内流畅移动，不会对晶圆产生污染，且符合洁净室的安全标准